9月24日，光刻机、光刻胶概念反复活跃，截至10:50，半导体材料ETF（562590）盘中走强，涨1.21%，持仓股华峰测控领涨，涨幅4.13%，富创精密、金宏气体、盛美上海跟涨，涨超2%。

资金面上看，半导体材料ETF（562590）近5日四度吸金，累计吸金近500万元，体现投资者信心。

华福证券认为，随着国内半导体产业链上下游协同攻关，以及多方资本有力加持，国产光刻机及相关供应链有望顺利扬帆，并为科技信息产业发展保驾护航。

半导体材料ETF（562590）及其联接基金（A类：020356、C类：020357）紧密跟踪中证半导体材料设备指数，指数中半导体设备（53.1%）、半导体材料（22.6%）占比靠前，合计权重超75%，充分聚焦指数主题。年初至今，半导体材料ETF最新份额达9166.30万份，创近3个月新高。